臺德合作引進最先進雷射源 打造臺南成為雷射加工重鎮
【記者黃緒勳台南報導】臺灣半導體產業發展再添利多！全臺首座「臺灣半導體與電子產業先進雷射應用服務中心（以下簡稱應用服務中心）」今（17）日在工研院臺南六甲院區啟用，在經濟部推動下，引進來自德國創浦（Trumpf）的4台亞洲僅有高階脈衝雷射，成立除德國以外之全世界最高階應用服務中心，將加速國內半導體設備之開發速度，預期將可帶動超過40億元產業效益。

根據國際半導體產業協會（SEMI）統計，2021年臺灣半導體設備投資將高達1618億元，成為全球第二大市場，預估明年至少再成長5%，重返全球第一名。經濟部技術處觀察，半導體製程持續往2至3奈米等更先進製程發展，本應用服務中心所導入之雷射源非屬一般之雷射源，而是導入目前全世界最高階之超快雷射，足以在低溫下切割世界第三硬之SiC材料，使得雷射設備應用在半導體領域成為不可或缺的技術要角。

為持續強化臺灣半導體產業領先優勢，在經濟部技術處處長邱求慧、工研院院長劉文雄、臺灣機械工業同業公會名譽理事長柯拔希、台灣創浦公司總經理鄭勇志、臺南市副市長趙卿惠、德國經濟辦事處處長林百科等人見證下，臺灣半導體與電子產業先進雷射應用服務中心今日啟用，同時也是德國創浦自身場域外最先進的國際級半導體高階雷射製程測試驗證中心。

經濟部技術處處長邱求慧表示，去年臺灣整體雷射設備進口值約新台幣220億元，是出口值的10倍之多，其中半導體雷射設備進口值占50%以上，若臺灣半導體雷射設備可以國產化發展，將為臺灣設備廠商帶來龐大商機，將過往送件到海外測試打樣至設備開發完成的時間縮短半年以上，並減少每年1億元的打樣驗證成本，同時結合在地南部雷射產業需求，打造臺南雷射加工應用重鎮，協助臺灣機械設備產業升級轉型往半導體產業發展，打進全球半導體與電子設備產業供應鏈，預估帶動的商機將達40億元以上。

工研院院長劉文雄表示，先進雷射應用服務中心提供國際級快速測試驗證服務，結合了工研院雷射製程與光路技術系統、德國創浦高階雷射源與大銀微公司精密平台，提供國內雷射設備系統整合及產業人才最先進製程技術教育訓練，加速國內廠商導入高階雷射應用、升級轉型，並使臺灣雷射產業逐步突破目前高階雷射模組和設備仰賴進口的現況。

機械公會名譽理事長柯拔希表示，臺灣設備商長期以來在半導體雷射設備市場經營不易，經常在越洋送件打樣的過程中，訂單就已被日本、美國、德國、韓國等雷射設備商搶走，主因就是臺灣沒有半導體加工所需的高階雷射源和打樣中心。很高興等到先進雷射應用服務中心啟用，我相信科技始終來自於機械，設備商在這一波轉型中扮演重要角色，將提升國內產業先進製程加工及技術研發效率，減少重複投資成本，為臺灣製造業的升級轉型注入一劑強心針。

台灣創浦公司總經理鄭勇志表示，創浦集團此次特別提供４台全亞洲獨有的最新型雷射源，包括皮秒紫外光雷射源、皮秒綠光雷射源、飛秒綠光雷射源、飛秒紅外光雷射源，搭配臺灣國產高速精密平台，加上工研院研發的專用光路模組及製程控制技術，適用矽基板、玻璃基板、碳化矽基板、PFO載板等半導體3D IC先進封裝與化合物半導體製程，提供臺廠高品質、高效率生產設備，是「半導體奈米製程競賽」中不可或缺的光製造技術，期盼透過臺德技術合作，共創新商機。

先進雷射應用服務中心提供雷射製程完整服務，歡迎國內半導體電子產業與機械設備先進洽詢合作，洽詢窗口：工研院雷射與積層製造科技中心陳柏維經理06-6939116。